マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第27回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第27回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
三次元LSI実装によるTSV近傍の応力変化とCMOS特性への影響評価
*土手 暁, 田代 浩子, 北田 秀樹, 作山 誠樹
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p. 319-322

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