マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
高番手砥石によるSi/Cu同時研削と残留金属低減処理を用いたSi貫通電極露出工程
*渡辺 直也, 山本 寛, 三井 貴彦, 山本 栄一
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p. 69-72

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