マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第31回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
セッションID: 22A2-2
会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第31回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
銀シード・セミアディティブ工法で作製した銅配線のエレクトロケミカルマイグレーション耐性
*新林 昭太, 村川 昭, 深澤 憲正, 冨士川 亘
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