マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第32回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第32回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
光ナノインプリントを用いた光電コパッケージ用マイクロミラーの作製
*中村 文, 鈴木 健太, 乗木 暁博, 天野 建
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p. 183-186

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