マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第32回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第32回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
反応性スパッタリングによるTi系MAX合金薄膜の物性に及ぼすA元素の効果
*上田 和貴, 若松 和伸, 岡本 尚樹, 齊藤 丈靖
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p. 67-70

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