マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第32回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
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主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第32回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
Surface Activated Bonding of ALD Al2O3films
*王 俊沙, 多喜川 良, 須賀 唯知
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p. 75-77

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