圧電素子の振動を用いたマイクロクーラーの開発

マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集

Online ISSN : 2434-396X

第32回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

DOI https://doi.org/10.11486/mes.32.0_99

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主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第32回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

圧電素子の振動を用いたマイクロクーラーの開発

*阪本千紘, 阿部優希, 仁木雄哉, 武田健嗣, 粟飯原萌, 金子美泉, 内木場文男

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会議録・要旨集フリー

p. 99-102

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