抄録
ポジ型フォトレジスト材を用いたドライフィルムを作製できるようになれば，新たなニーズの展開が期待できる。本研究では，柔軟性を持つレジスト用クレゾールノボラック樹脂の開発を試み，アルデヒド成分にはジアルデヒド型のグリオキザール（Gly），スクシンアルデヒド（Suc），グルタルアルデヒド（Glu），アジポアルデヒド（Adp）を用い，クレゾール（Cre）類と付加縮合させて種々のノボラック樹脂を調製した。得られた樹脂の中から，アルカリ水溶液溶解速度＜1000 Å/sec，Mw ≧3000 の条件を満たすものを選出した。これらをポリイミドフィルム上に膜厚5 μm に塗布した試料を折り曲げ，折り曲げ面の樹脂の飛散状態から柔軟性を評価した。 アルデヒド成分にホルムアルデヒドおよびGly を用いた樹脂の折り曲げ面は砕け散っていたが，Suc，Glu そしてAdp を用いた樹脂は，砕けることなくひび割れが入る程度であった。描画性能は，シリコンウェハ上に樹脂を膜厚1.5 μmとなるように塗布し，レジストパターン作製して評価した。柔軟性が確認された樹脂のほとんどが，90％以上の残膜率と2.5 μm までの描画能を満足できた。
