応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
総合報告
半導体ナノ構造の自己組織化
尾関 雅志, 清水 雄一郎
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2003 年 72 巻 10 号 p. 1248-1259

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抄録

量子ドットレーザーなどの新世代半導体デバイスの基盤技術である半導体量子構造形成法を自己組織化という観点から解説する.量子ドットを中心としてその形成メカニズム,位置のコントロール,具体的な形成例,問題点を材料開発の立場から述べる.

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© 2003 公益社団法人応用物理学会
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