研究紹介
コヒーレントX線のための高精度全反射ミラーの開発
2003 年 72 巻 4 号 p. 439-444
詳細
2003 年 72 巻 4 号 p. 439-444
コヒーレント放射光の実現に伴い，全反射ミラー素子には，きわめて高い形状精度と原子スケールの平滑性が強く求められている．ここでは，シンクロトロン放射光をより高度に利用に供するために必要な高性能ミラーの開発を目的に，EEM (Elastic Emission Machining)およびPCVM (Plasma Chemical Vaporization Machining)による高精度全反射ミラーの製作とその性能評価を1km長尺ビームライン(SPring-8 BL29XUL)のX線を用いて行った結果を示す．
