応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
研究紹介
SOIフォトニック結晶スラブ
納富 雅也
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2003 年 72 巻 7 号 p. 914-918

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抄録

SOI基板を用いた二次元フォトニック結晶スラブ構造は,SOI基板自体の高い均一性と高いSi加工技術が相まって高精度で高品質の結晶が作製可能であり,光通信波長帯に広い二次元PBGが実現できる.本稿では,同結晶を用いた導波路,共振器,光ファイバー結合用スポットサイズ変換系などの作製に関する最近の研究成果の概説を行う.二次元結晶では面と垂直方向への漏えいが大きな問題であるが,素子構造設計によってこの漏えいはかなりの程度まで抑えられることがわかってきており,SOIフォトニック結晶はフォトニック結晶をベースとした将来の光回路の基本プラットホームの有力な候補と考えられる.

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© 2003 公益社団法人応用物理学会
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