応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
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高分子多層膜の作製とその光機能素子化
梅垣 真祐小見門 利行井上 梓
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2007 年 76 巻 1 号 p. 54-59

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抄録

従来,光学多層膜は無機誘電体を材料として,真空蒸着,スパッタリングなどにより作製され,高反射ミラー,干渉フィルター,反射防止膜など受動的な目的に用いられてきた.本稿では,高分子材料を用い,真空環境不要のスピンコート法により膜厚を制御して多層膜が作製可能であることを示し,光機能性分子の導入による高分子多層膜のさまざまな能動素子化への応用を紹介する.

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© 2007 公益社団法人応用物理学会
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