研究紹介
愛・地球博レーザードリームシアター用GxL光変調モジュール技術
2007 年 76 巻 2 号 p. 174-177
詳細
2007 年 76 巻 2 号 p. 174-177
愛・地球博レーザードリームシアター向けにMEMS技術を用いた一次元光変調素子であるGxL用語)モジュールの開発を行い，リボンのブレーズ化ならびにその形状最適化により回折効率70％，平均コントラスト10000：1以上の性能を実現し，さらに十分な信頼性確保も行った．本稿では，これらを実現した技術について報告する．
