最近の展望
多元系シリサイドの新展開
—半導体BaSi2を例に—
2007 年 76 巻 3 号 p. 264-268
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2007 年 76 巻 3 号 p. 264-268
シリサイド半導体の研究は，鉄シリサイド（β-FeSi2）を中心に行われており，最近では強磁性体Fe3Si と組み合わせるなど新しい展開を見せている．一方，アルカリ土類金属とSiの化合物であるシリサイド半導体にはMg2Si，BaSi2などがあるが，一般にはなじみがない．Mg2Siは，SiサイトをGe，Sn，Pbと置換することで，禁制帯幅を0.7eVからゼロギャップまで制御できる特長がある．一方，BaSi2はカルコパイライト並みの非常に大きな光吸収係数をもち，BaサイトをSrで置換して禁制帯幅を1.3eVから拡大できるなど，従来のSi系半導体にはない特長をもつ．本稿ではBaSi2を中心に，作製方法，電気特性，光学特性，バンド計算の現状を紹介し，応用を含めて将来展望を述べる．
