応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
研究紹介
大気圧マイクロプラズマによる多重双晶星型モリブデン粒子の合成
清水 禎樹
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2008 年 77 巻 4 号 p. 411-416

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抄録

大気圧マイクロプラズマ応用技術の一つとして,金属ワイヤを原料に用いたナノ粒子合成・大気中での微小薄膜堆積技術の開発を行っている.最近では,大気中で微小金属薄膜を作製することが可能になり,ある条件では,多重双晶構造を有する星型モリブデン粒子が,基板上に高密度で成長することが見いだされた.本研究紹介では,この星型モリブデン粒子の合成法や,モルフォロジー,微細構造,現在検討中の成長機構などについて紹介する.

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© 2008 公益社団法人応用物理学会
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