(独)産業技術総合研究所
2008 年 77 巻 4 号 p. 411-416
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大気圧マイクロプラズマ応用技術の一つとして,金属ワイヤを原料に用いたナノ粒子合成・大気中での微小薄膜堆積技術の開発を行っている.最近では,大気中で微小金属薄膜を作製することが可能になり,ある条件では,多重双晶構造を有する星型モリブデン粒子が,基板上に高密度で成長することが見いだされた.本研究紹介では,この星型モリブデン粒子の合成法や,モルフォロジー,微細構造,現在検討中の成長機構などについて紹介する.
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