研究紹介
プラズマ中のラジカル制御によるカーボンナノウォールの合成
2008 年 77 巻 4 号 p. 406-410
詳細
2008 年 77 巻 4 号 p. 406-410
二次元に広がった厚さ10nm程度のシート状構造体が基板にほぼ垂直に成長するカーボンナノウォールは，立ち並んだグラファイトの薄い壁と，その広い表面積が特徴で，ユニークな構造や良好な電気伝導性・熱伝導性を利用したデバイスへの応用が期待される．これまでに培ったラジカル密度計測・制御技術を生かし，フルオロカーボンプラズマに水素原子を注入するラジカル注入CVDを開発し，カーボンナノウォールの形成を行い，構造の制御を実現した．CVDプロセス中に，プロセスに有効なラジカルを高精度に注入する方式は，ナノテクノロジーの量産化プロセスには有効な技術である．
