研究紹介
ホットワイヤ化学気相堆積法によるカーボンナノウォールの作製
2009 年 78 巻 2 号 p. 154-158
詳細
2009 年 78 巻 2 号 p. 154-158
ホットワイヤ化学気相堆積法は，装置が簡便で装置コストが安い，ガス分解効率が高いなどの特徴をもった製膜方法で，ダイヤモンド薄膜やシリコン系薄膜，最近では酸化物薄膜やカーボンナノチューブの作製と，その適用範囲に広がりを見せている．この製膜法を，カーボンナノウォールの作製に適用し，その作製に成功した．カーボンナノウォールは，基板上に自立した数nm〜数十nmの厚みのウォール状の構造を有し，電界電子放出素子など，その特徴を生かした応用が期待されている．本稿では，ホットワイヤ化学気相堆積法によるカーボンナノウォールの作製に関する研究成果を紹介する．
