解説
フラットパネルディスプレイ用薄膜トランジスタの歴史と展望
2010 年 79 巻 1 号 p. 32-37
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2010 年 79 巻 1 号 p. 32-37
フラットパネルディスプレイ用薄膜トランジスタ（TFT）の歴史をひも解いた．電界効果型トランジスタの一種であるTFTのデバイス構造と原理を述べ，現在実用化されているシリコン系デバイスを比較した．新規TFTとして，微結晶Si -TFT，酸化物半導体TFTおよび有機半導体TFTを紹介し，大画面高精細ディスプレイおよびフレキシブルディスプレイへの応用と将来を展望した．
