応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
基礎講座
走査電子顕微鏡で何が見えているの?
本間 芳和
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ジャーナル 認証あり

2010 年 79 巻 8 号 p. 754-757

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抄録

走査電子顕微鏡像には,試料表面のマクロな形状だけでなく,ドーパントや結晶性などによる材料物性,原子レベルの形状や構造変化,帯電状態の変化などを反映したさまざまなコントラストが現れる.これらのコントラストは半導体材料やナノ構造体の実用的な観察法として利用されている.

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© 2010 年 応用物理学会
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