総合報告
ポストスケーリング技術の現状と期待される新展開
2012 年 81 巻 1 号 p. 3-14
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2012 年 81 巻 1 号 p. 3-14
シリコン超々大規模集積回路（ULSI）は，Mooreの法則を指導原理として，スケーリングに基づいた微細化を推し進めることで発展してきた．しかしながら，技術的，コスト的な面から，将来の微細化に対する壁が次第に見え始めており，スケーリングに代わる新しい技術開発指針が求められている．ここでは，微細化に依存することなしにULSIデバイスの高性能化，高集積化，高機能化を実現する技術をポストスケーリング技術として捉え，その現状を将来への期待を含めて概観する．
