応用物理
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Print ISSN : 0369-8009
研究紹介
最新のガスセンサ―省電力と高感度化への取り組み
堀内 雅司
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2012 年 81 巻 2 号 p. 134-138

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抄録

現在ガスセンサの多くは,可燃性ガスや毒性ガスの漏【ろう】洩【えい】による爆発事故や中毒事故を未然に防ぐために使用されている.ここ数年来,ガスセンサは省電力化が進み,現在では電池で5年間使用できるガス警報器も開発されつつある.また,新たなニーズとしてニオイ検知の市場に対応するためのセンサが開発されている.これまでの間,さまざまなセンサ材料が試験され,用途に応じた特性が得られるようになってきた.さらに,揮発性有機化合物に対して超高感度なセンサを開発し,ガスクロマトグラフィ技術を応用したポータブル分析計が製品化されている.ここでは,主に半導体センサを中心に最近の動向とその技術について紹介する.

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© 2012 公益社団法人応用物理学会
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