放射線による半導体デバイスへの影響

抄録

宇宙には電子，プロトン，重イオンといったさまざまな放射線が存在し，それら放射線により人工衛星などの宇宙機に用いられる半導体デバイスは，誤動作・破壊，特性劣化を示す．本稿では，宇宙の放射線環境について触れた後に，それら放射線によって半導体デバイスが具体的にどのような影響を受けるかについて，太陽電池と論理大規模集積回路（Large Scale Integration : LSI）の最近の研究成果を中心に紹介する．