抄録
走査電子顕微鏡（SEM）は細く絞られた電子線（電子プローブ）を使って，塊（バルク）状の試料の表面形状や組成の違いなどを虫眼鏡程度の倍率から10万倍を超える倍率で観察を行う装置である．SEMで得られる像（二次電子像や反射電子像）は，高い分解能と大きな焦点深度を有するため，凹凸の激しい試料の表面観察に威力を発揮する．またSEMにさまざまな検出器を装着することにより，試料の元素情報や結晶性試料ではその結晶情報を得ることができる．
© 2012 公益社団法人応用物理学会
走査電子顕微鏡（SEM）は細く絞られた電子線（電子プローブ）を使って，塊（バルク）状の試料の表面形状や組成の違いなどを虫眼鏡程度の倍率から10万倍を超える倍率で観察を行う装置である．SEMで得られる像（二次電子像や反射電子像）は，高い分解能と大きな焦点深度を有するため，凹凸の激しい試料の表面観察に威力を発揮する．またSEMにさまざまな検出器を装着することにより，試料の元素情報や結晶性試料ではその結晶情報を得ることができる．