研究紹介
HEMTの開発を振り返る
2012 年 81 巻 8 号 p. 672-675
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2012 年 81 巻 8 号 p. 672-675
1980年に誕生したHEMTは，素子の基本構造や製作技術において従来デバイスとは一線を画するユニークなデバイスであったため実用化にはかなりの困難が予想されたが，5年後の1985年には電波望遠鏡の低雑音増幅器としてデビューした．さらに1987年頃には衛星放送受信用の低雑音増幅器として広く普及し，現在全世界で年間約10億個の量産デバイスにまで成長した．ここではHEMTの初期の試作・開発がどのように進んでいったかを中心に述べる．
