東京工業大学大学院総合理工学研究科物理電子システム創造専攻
2013 年 82 巻 4 号 p. 292-298
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半世紀を超えるシリコントランジスタの開発の歴史と，それを牽引する先端CMOSデバイス技術，および応用を志向した多機能化技術について解説する．
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