基礎講座
酸化物半導体
ITOって何？
2013 年 82 巻 7 号 p. 601-604
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2013 年 82 巻 7 号 p. 601-604
現在，広範かつ大量に実用化されている酸化物半導体材料は，縮退したn型金属酸化物から成るIn2O3系，SnO2系およびZnO系透明導電膜である．透明導電膜の主要な用途は，フラットパネルディスプレイ，薄膜太陽電池およびタッチパネルなどの透明電極である．縮退したn型金属酸化物半導体について，透明電極応用の現状を紹介するとともに，透明導電膜材料と成膜技術との関係を述べ，得られる膜の電気的・光学的特性について説明する．また，透明電極用途における透明導電膜の研究開発の今後の展望を述べる．
