大阪大学 大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
2014 年 83 巻 1 号 p. 63-67
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多種多様なレーザー光源の登場は,さまざまな光学現象の観察を可能とし,光物性研究に大きな進展をもたらした.同じ理由で,光と物質との相互作用を通して観察を行う光学顕微鏡にも大きな進展をもたらした.試料の形状の観察はもちろんのこと,試料の内部を非破壊で,かつ内部に含まれる物質分析を行いながら顕微観察できる.これらのレーザー走査型顕微鏡技術について,その基本原理,結像特性,および応用例を示す.
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