研究紹介
窒化ニオブ薄膜を用いたマイクロ波カイネティックインダクタンス検出器
2015 年 84 巻 2 号 p. 146-149
詳細
2015 年 84 巻 2 号 p. 146-149
フーリエ変換分光用4K動作2次元アレイ検出器の開発を目指し，窒化ニオブ（NbN）薄膜を用いたマイクロ波カイネティックインダクタンス検出器（MKIDs）の設計と作製，評価を行った．高Q値マイクロ波共振器と広帯域THzアンテナとしての2つの機能を併せもつDual-Function Spiral Strip（DFSS）を提案し，25（5×5）素子DFSS-MKIDsアレイの設計を行った．NbN薄膜を用いた同アレイの作製と評価を行い，25素子に対応する共振特性と光応答を確認した．
