一般財団法人材料科学技術振興財団
2016 年 85 巻 4 号 p. 318-322
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材料やデバイスの評価を行う際には，頻繁に元素分析の機会が現れます．一口に元素分析といっても，評価目的や試料の状態に応じて使い分ける必要がありますが，本稿では代表的な元素分析について，その特徴と注意点について紹介します．
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