放射光科学のための高精度X線ミラーの開発

抄録

放射光X線を利用した分析法は科学技術の発展に不可欠な役割を果たしており，その高度化には，光源とその特性を引き出す光学素子の高性能化が大きく貢献している．ここでは，X線のナノ集光やナノイメージングに利用されるX線ミラーにおいて，求められる精度やその作製法，最新の光学系などについて概観する．