研究紹介
超高Q値シリコンフォトニック結晶光ナノ共振器の進展
2018 年 87 巻 10 号 p. 749-753
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2018 年 87 巻 10 号 p. 749-753
2次元フォトニック結晶により実現した高Q値光ナノ共振器は，多くの研究者の興味を惹(ひ)きつけてきた．中でも，シリコンナノ共振器は，この15年余り，フォトニック結晶共振器の最高Q値を更新し続けたことにより，光エレクトロニクスの枠を越えて応用研究が進められている．現在では，1000万を超えるQ値が達成されているが，近年では，フォトリソグラフィを用いた大口径基板への大量作製においても，Q値200万が安定して得られている．今後は，さらに幅広い分野での利用が見込まれる．本稿では，この数年間になされたシリコン光ナノ共振器の超高Q値化について紹介する．
