高Q値微小光共振器は光を小さな空間に強く閉じ込めることができるので,光と物質の相互作用を究極的に増強可能である.また,微弱な入力光でも非線形光学効果を利用できるため,微小光共振器の応用は光信号処理や光周波数コムなど多岐にわたる.本稿では,フォトニック結晶(PhC)共振器やさまざまなウィスパリングギャラリーモード(WGM)共振器の作製と応用について紹介する.PhC共振器は,CMOS互換性を向上させることで光集積回路の実現に近づくことができる.一方,WGM共振器は,シリカトロイド共振器,シリカロッド共振器や分散制御を可能にする.ここでは超精密加工によるWGM結晶共振器の開発を紹介し,これらの共振器を用いた光カーコム応用などについて解説する.