大気圧マイクロ波放電による高密度長尺ラインプラズマ

抄録

大面積表面処理においては，真空装置を用いた処理は高コストとなり，コンパクトかつ高速処理を行うことのできる大気圧プラズマが求められている．我々は，マイクロ波電力の制御によりメートル級の1次元長尺の均一な大気圧プラズマ生成に成功した．このプラズマ生成装置は，長尺・コンパクトな構造であり，導波管長に合わせてプラズマの長さを自由に設定することができる．また，高いプラズマ密度で高速処理を行うことのできる特徴を有している．本稿では，このプラズマ装置のプラズマ生成原理を解説するとともに，本プラズマの特徴を示す．また，本プラズマ装置を用いた表面処理応用例を示す．