フェムト秒レーザー誘起表面ナノ周期構造の形成メカニズムと応用

抄録

フェムト秒レーザーを固体表面に複数パルス照射すると，アブレーションという剝離現象によってレーザー波長よりもずっと短い周期間隔の構造体が形成される．この構造体は光の回折限界以下の周期であることに加えて，固体表面にレーザーを照射するだけで形成されることから，微細加工技術への応用が期待されている．本稿では著者らが示してきた形成メカニズムと応用について紹介する．