原子層物質積層構造を用いた単色電子ビーム平面型電子源の開発

抄録

近年の先端半導体デバイスの微細化に伴い，半導体製造での電子ビーム装置の高分解能，高スループット化への要求が高まっている．平面型電子源は半導体微細加工技術で作製可能であるためアレイ化によるマルチビーム化が容易であるが，エネルギー単色性と放出電流密度に課題があった．原子層物質の優れた電子透過性を用いることでその課題を克服し，高い放出電流密度と従来型電子源を凌駕(りようが)するエネルギー単色性を実現する平面型電子源を開発した．