陽電子消滅を用いた材料評価

抄録

電子の反粒子である陽電子を用いて材料中の空孔，空隙を感度よく非破壊で検出することができる．試料の伝導性，温度などについての制約が無く，金属，半導体，絶縁体などへ適用できる．また，表面近傍の欠陥深さ分布を得ることも可能である．本稿では，陽電子消滅の原理について説明した後，イオン注入した半導体，高誘電率薄膜，またSiO₂膜の空孔型欠陥や空隙の焼鈍特性を評価した結果について紹介する．