粒子シミュレーションによるプラズマへの磁界の影響の解析

抄録

材料プロセス用プラズマに磁界を印加することにより，プラズマ制御においていくつかの機能性が期待される．プラズマの構造を形成し応答を支配する電子の運動は電界と磁界が共に作用する環境下では複雑になるため，電子に対する磁界の作用についての理論と数値シミュレーションに基づく系統的な理解は磁界を利用するプラズマ装置の設計と制御のための基礎知見として重要である．本稿では電磁界下の要素的な電子運動を概観するとともに，特徴的な形状の磁界の下で電子が示す興味深い挙動を粒子シミュレーションにより解析している研究を紹介する．