東京大学 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻
2026 年 95 巻 10 号 p. 561-564
(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)
(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)
元素置換ドープ2次元半導体では,量子閉じ込め効果と環境の誘電率低下の影響により,不純物原子のイオン化エネルギーがバルク半導体より増大(数百meV程度)し,キャリア生成が困難となる.本稿では,水素原子モデルを基礎として2次元半導体における不純物活性化の描像を整理し,NbドープWSe2における低次元化に伴う縮退‐非縮退遷移の実験結果を紹介する.さらに,その理解に基づき,ゲート・オール・アラウンド構造における領域別ドーピング戦略を議論する.
すでにアカウントをお持ちの場合 サインインはこちら