最近の展望
SiC量子センサによる高感度磁場・温度測定技術
2026 年 95 巻 2 号 p. 85-89
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2026 年 95 巻 2 号 p. 85-89
固体量子センサは磁場・温度・圧力等を高感度・高空間分解能で測定可能な新規センサとして注目されている．ダイヤモンド中の窒素‐空孔複合欠陥（NVセンタ）を使用した量子センサのさまざまな応用研究が進められている．パワー半導体用母材として実用化されている炭化ケイ素（SiC）中にも量子センサとして機能する欠陥が存在する．それらはSiCパワー半導体内部を直接，高感度・高空間分解能で観察可能という他の量子センサにはない利点を持っている．本稿では，シリコン空孔量子センサによるSiCパワー半導体内部直接センシング技術について最新の研究動向を紹介する．
