解説
先端レーザー加工技術と機能デバイス作製
2026 年 95 巻 2 号 p. 78-84
詳細
2026 年 95 巻 2 号 p. 78-84
超短パルスレーザーはパルス幅が極めて短いため，従来のレーザーでは不可能であった高品質加工を実現する．またピーク強度も極めて高いため透明材料にも非線形吸収を生じさせることができ，複雑な3次元マイクロ・ナノ構造の構築を可能にする．さらにレーザー光を整形することにより，加工の高度化が図れる．本稿では，筆者が開発した超短パルスレーザーによる透明材料の3次元加工技術，複合加工技術，ビーム整形加工技術を解説する．さらに開発した技術を3次元マイクロ流体デバイス，高感度分析チップ，ガラス貫通穴作製に応用した例について紹介する．
