応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
GaAs集積回路のプロセス技術
柴富 昭洋
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1984 年 53 巻 1 号 p. 33-37

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抄録
高速化をめざすGaAsICは,プロセス技術の向上により,LSIレベルで評価されるようになったそして期待どおりの特性が実証された.しかし,実用化には,信頼性と歩留まり向上を十分考慮したプロセス技術を開発しなければならない.ここでは,GaAsICプロセス技術の現状と問題点を認識し,将来のあるべき姿を展望する.
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© 社団法人 応用物理学会
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