応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
分析電子顕微鏡の現状と高性能化への展望—セラミックス研究の立場から—
板東 義雄, 松井 良夫
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1984 年 53 巻 3 号 p. 199-205

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抄録
分析電子顕微鏡の各種の新しい測定方法と,そのセラミックスへの応用例を紹介する,現状の分析電子顕微鏡の性能上の欠点についても触れ,将来の高性能化について展望する.
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© 社団法人 応用物理学会
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