高安定TiCフィールド・エミッター
1984 年 53 巻 3 号 p. 206-211
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1984 年 53 巻 3 号 p. 206-211
良質のTiC単結晶を使用し,真空(1×10-8Pa)や加熱(1700°C以上)の条件を適切に選ぶことにより,10μA以下の放躬で,ノイズレス(0.1%以下の電流変動),ドリフトレス(0.05%/h以下の変化)と呼べる電界放躬電流が得られる.さらに結晶軸として<110>軸を使用することにより,チップ真下に酸、電流を放射させることが可能である.実用に近づきつつあるTiCフィールド・エミッターの現状について紹介する.
