軽不純物の脱離

抄録

今後のプラズマ装置の壁面は,過酷な熱負荷や粒子負荷にさらされることになる.そのような状況では，壁面吸着ガスのみならず,材料内部からの不純物や表面酸化物も,プラズマへの軽不純物源として考慮しておく必要がある,本稿では,主として表面観察の手法を用いてこれまでに筆者が行なった研究のなかから,この種の軽不純物の熱的脱離あるいはイオン衝撃脱離に関する結果を二,三紹介する.