応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
コーティングの内部応力
金原 粲馬場 茂松田 七美男
著者情報
ジャーナル フリー

1984 年 53 巻 3 号 p. 228-231

詳細
抄録

片持ち梁・電気容量ブリッジ型の,コーチィングの内部応力測定装置の原理を示す.さらに,この装置を用いて測定されたMgF2, TiC, B, Cのコーティングの内部応力の膜厚依存性を示す.MgF2, TiCは引っ張り応九B,Cは圧縮応力になっていることがわかる.応力は,加熱によって緩和されることが明らかにされた.最後に,応力によるひずみエネルギーの計算とクラック発生についての簡単な考察を行なう.

著者関連情報
© 社団法人 応用物理学会
前の記事 次の記事
feedback
Top