東京大学工学部物理工学科
1984 年 53 巻 3 号 p. 228-231
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片持ち梁・電気容量ブリッジ型の,コーチィングの内部応力測定装置の原理を示す.さらに,この装置を用いて測定されたMgF2, TiC, B, Cのコーティングの内部応力の膜厚依存性を示す.MgF2, TiCは引っ張り応九B,Cは圧縮応力になっていることがわかる.応力は,加熱によって緩和されることが明らかにされた.最後に,応力によるひずみエネルギーの計算とクラック発生についての簡単な考察を行なう.
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