応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
低速イオン散乱分光による表面格子欠陥の解析
青野 正和
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1986 年 55 巻 4 号 p. 377-383

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抄録
低速イオン散乱分光 (ISS) は“極表面”(表面の最外1～2原子層)に存在する格子欠陥の解析に有効である、TiC (100) 表面に軽イオン照射による選択スパッタリングの結果として生じた表面淡素原子空孔,およびCu (110) 表面に酸素の存在と加熱によって生じた表面原子列の欠損をこの方法で解析した例について述べる.
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© 社団法人 応用物理学会
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