応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
集積化アモルファスX線センサー
魏 光普岡本 博明浜川 圭弘谷口 正克前畑 英彦大工 博之
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1986 年 55 巻 8 号 p. 824-829

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抄録

Amorphous silicon integrated type X-ray sensors are fabricated. Technical data on the fabrication conditions and resulting X-ray sensitive performance are described. As an example of application, some operational tests for X-ray computed tomography (XCT) have been carried out. The results show that the device developed in this work may provide a variety of potential applications in medical, scientific and industrial fields.

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© 社団法人 応用物理学会
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