原子的尺度で見たシリサイド/シリコン界面の構造と性質—ショットキー障壁の問題を中心として—

抄録

シリサイド/シリコン接触は,シリサイドが金属釣性質を示すという点で,古典的な金属/シリコン接触に近く,界面で化学結合が彩成されているという点では,フェルミ準位のピニングの影響を受けにくいと考えられる.本報告は,シリサイド/シリコン接触のショットキー障壁高さを決める要因を,シリサイドのバルクの性質に由来するものと,界面構造に由来するものとに分類して,それぞれの寄与の程度を論じる.