Y系酸化物超伝導体超格子の成長過程
1991 年 60 巻 5 号 p. 474-477
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1991 年 60 巻 5 号 p. 474-477
人工超格子の作製には,膜厚の制御性,表面の平滑性が保証される層状成長が不可欠の要件である.特に膜厚制御,平滑性をモニターできる反射高速電子線回折 (RHEED) 強度の振動が,酸化物超伝導体の成長で観測されるかどうかは,超格子研究にとって最重要問題である.ここでは, RHEED振動により得られたYBa2Cu3O7-xなどぺロブスカイト型酸化物の結晶成長機構を述べ,それを用いて膜厚を制御した超薄膜や超格子の作製や,超伝導性についての最近の研究を紹介する.
