応用物理
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走査トンネル顕微鏡における探針とSi表面との相互作用およびその原子操作への応用
青野 正和小林 中Francois GREY内田 裕久Du Hua HUANG吉信 淳
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1992 年 61 巻 12 号 p. 1264-1268

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抄録

走査トンネル顕微鏡 (STM) を用いたSi表面の原子単位での構造制御の方法とその機構について述べる.Si(111)-7×7表面の任意の位置からSi原子を1個ずつ引き抜くことができる. Si(001)-2×1表面の場合には,一般にダイマーを形成している2個の原子が同時に引き抜かれる.いずれの場合にも,結晶学的に異なる位置のSi原子は異なる確率で引き抜かれ,それはそれらのSi原子の結晶学的安定性と密接に関係している,Si(111)-7×7表面の場合について,引き抜かれたSi原子の表面への再付着と,そのSi原子の意図的な移動の実例も示す.

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© 社団法人 応用物理学会
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